面板級封裝加速量產 ERS以三合一自動化設備縮短製程鏈

ERS於SEMICON Taiwan 2026展示全自動化三合一雙載板面板級設備,將原本須由不同機台處理的製程步驟整合至單一平台

AI與高效能運算需求快速成長,帶動高頻寬記憶體(HBM)、2.5D/3D整合等先進封裝技術持續演進。隨著晶片後段製程工序越來越複雜,如何縮短製程鏈並降低搬運風險,成為晶圓製造業者以及設備供應商關注的焦點議題之一。

總部位於德國慕尼黑的ERS electronic,是一家以精密熱管理為核心技術的半導體設備商,深耕相關領域超過50年。其產品主要涵蓋晶圓探針測試所需的精密溫控載台,以及先進封裝使用的暫時鍵合/解鍵合(Temporary bonding/debonding,TBDB)、翹曲校正、量測與自動化設備。近年,ERS進一步將累積多年的熱管理與基板處理經驗,由晶圓級製程延伸至面板級封裝(Panel-Level Packaging)市場。

ERS於SEMICON Taiwan 2026展示全自動化三合一雙載板面板級設備,將原本須由不同機台處理的製程步驟整合至單一平台。ERS產品行銷經理Evelyn Wen表示,今年展示重點包括雙載板整合設備、自動化面板級製程,以及因應大尺寸與多層結構需求的翹曲校正技術。

三機合一 降低搬運與廠房成本

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